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TSMCなど半導体用ガスの設備増強 日本エア・リキードの県内拠点 製造能力を5倍以上に拡大
産業ガス大手の日本エア・リキード(東京)がセミコンテクノパーク内の熊本ガスセンター(合志市)で進めていた製造設備の増強が完了し、27日に現地で式典を開いた。半導体製造に使う窒素ガスや酸素ガスの製造能力を大幅に引き上げ、近くに立地した台湾積...
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