荏原製作所、南関町に「CMP装置」の新生産棟完成 生産能力1・5倍に TSMC第2工場にも納入へ
荏原製作所(東京)が南関町の熊本事業所に建設していた新棟が完成し、19日、現地で竣工[しゅんこう]式があった。半導体の製造工程でシリコンウエハーを磨く「CMP装置」の生産能力を1・5倍に増強し、生成人工知能(AI)や自動運転向けの需要に対...
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